新華財經長沙6月2日電（記者余蕊 陳宇簫 呂光一）電子特種氣體被比喻為半導體的“血液”，是制造芯片的關鍵基礎材料。電子特氣對純度的要求非常高，包括氪氣、氙氣、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等上百種稀有氣體。中國電子特氣八成以上依賴進口，用于制造芯片的高端電子特氣更是幾乎全部依賴進口，成為“卡脖子”關鍵領域。近年來，湖南凱美特氣體股份有限公司（以下簡稱“凱美特氣”）在電子特氣領域取得突破性進展，記者近日采訪了其董事長祝恩福。

電子特氣成為“卡脖子”關鍵領域

據了解，半導體制造過程中的刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積、擴散等環節要使用大量的電子氣體，并且電子氣體的純度對芯片質量影響很大。隨著集成電路工藝節點不斷縮小，已經達到10納米、7納米，芯片制造對所用氣體的顆粒度和雜質含量的要求也越來越高。

除了制造芯片，電子特氣還可以應用到柔性屏生產、肺部顯影、衛星離子發射等多個領域。

中泰證券等多家機構研究認為，電子特氣行業具有較高的進入壁壘，美國空氣化工、德國林德集團、法國液化空氣和大陽日酸等四大公司控制著全球90%以上的市場份額。國內市場更是如此，八成以上的電子特氣依賴進口，高端的電子特氣幾乎全部依賴進口，如離子注入氣、光刻激光氣等。

凱美特氣突破電子特氣關鍵技術 已能實現量產

凱美特氣是一家以石油石化企業排放的尾氣（廢氣）、火炬氣為原料，將其中有價值的成分進行分離、提純、回收循環利用的上市公司，是可口可樂、百事可樂中國區最大的高純二氧化碳供應商。

2018年，凱美特氣投資2億多元，建設電子特種氣體項目并將研發成果產業化，與香港一家公司合資成立岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司（以下簡稱“凱美特電子特氣”），凱美特氣控股97%。

“目前芯片制造所用的電子特氣100%依靠進口，‘卡脖子’的問題必須要解決，我們在氣體行業深耕了20多年，想為國家做點事情。”凱美特氣董事長祝恩福說，“我們將二氧化碳產業鏈進行延伸，突破電子特氣國產化的技術瓶頸，成功研發出電子特氣提純技術等多項核心技術，生產出電子級氣體產品。”

祝恩福介紹，凱美特電子特氣目前已成功本地化生產出電子級的99.999%高純氙氣、99.9995%超高純航空氙氣、99.9999%超高純氬氣、99.999%高純氪氣、99.9999%高純氦氣、99.9999%高純氮、99.9999%高純氫、99.999%高純一氧化碳、99.99996%電子級二氧化碳，以及準分子激光含氟混合氣，HCl混合氣體等等。

“這些特種氣體都能夠實現量產。我們在2021年年初落實了9萬空分的稀有氣體項目，預計2022年年底可以具備每年200標方氙氣、2000標方氪氣、6萬標方氖氣，以及1.5萬標方氦氣的生產能力。”祝恩福說，現階段凱美特電子特種稀有氣體的生產能力已經可以實現近1個億的產值。

凱美特氣實現電子特氣生產全流程自主可控 已獲得液化空氣認證

祝恩福介紹，電子特氣對于生產環境和包裝等的要求很高。“例如充裝電子特氣的氣瓶，要求特別干凈。國內的氣瓶生產商達不到我們的指標要求。我們不得不花1000萬元從國外進口清洗氣瓶的生產線，確保了電子特氣的高純度。”祝恩福說。

如今的凱美特電子特氣已經實現了氟氣、氯化氫等稀有原料氣自主可控，包裝氣瓶處理自主可控，提純充裝的生產過程自主可控，并且擁有電子特氣分析檢驗、氣瓶檢測的能力。全流程的自主可控，為穩定生產提供了保障。

電子特氣屬于危險化學品工業氣體，生產過程有著嚴格的管理規范。2020年底，凱美特電子特氣拿到了全套生產資質，包括安全生產許可證、全國工業產品生產許可證、氣瓶充裝許可證、移動式壓力容器充裝許可證、質量管理體系認證證書、環境管理體系認證證書、職業健康安全管理體系認證證書等。

盡管獲得了上述生產資質，凱美特電子特氣具備了生產的前提并擁有量產的能力，但打破國外對電子特氣的長期壟斷，實現電子特氣“中國造”，需要市場的接納和認可。而走向市場的重要一步，是獲得半導體行業巨頭的認證。

凱美特氣今年2月3日發布公告，稱凱美特電子特氣已收到液化空氣（上海）供應商審核結論通告，生產的高純度氪、氙、二氧化碳得到液化空氣的認證。

法國液化空氣集團，是世界上最大的工業氣體和醫療氣體以及相關服務的供應商之一。隨后，凱美特電子特氣生產的電子特氣開始正式銷售，如今99.999%高純度氪氣已簽署三單合同，銷售額近1000萬元。

凱美特氣瞄準的，是全球最大的光刻機制造商，荷蘭阿斯麥的認證。“在獲得阿斯麥認證之前，必須先獲得德國相干公司的認證，相干公司是全球領先的激光技術供應商。現在情況還是比較順利的，樣氣已經到香港，還有幾天可以到德國開始認證。我對我們的產品質量很有信心。”祝恩福說，“我相信未來，在電子特氣行業我們會做得很好。”